等离子清洗机清洗工艺已被广泛应用于晶圆加工、芯片封装、传感器、精密电子和医疗器械等领域,其优点多多,例如不会改变材料表面特性和外观,能够对材料做到彻底清洗。等离子体清洗机对材料的改性只限于表面,对材料基质不会产生破坏作用,因此在塑料、薄膜、纤维等材料的表面改性中具有重要意义
等离子清洗机Plasma Cleaner又被称为等离子蚀刻机、等离子去胶机、等离子活化机、Plasma清洗机、等离子表面处理机、等离子清洗系统等。等离子处理机广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子晶圆去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子活化和等离子表面处理等场合,通过等离子清洗机的表面处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂.
等离子清洗机生产中的产生的等离子体包含大量活性粒子,如高能电子、离子、自由基、激发态的气体原子和分子以及光子等,其能量可通过辐射、中性粒子流和离子流的碰撞等作用于塑料表面,这些粒子与塑料表面发生诸如刻蚀和清洁﹑氧化、接枝、活化、聚合等相互作用,以此改善塑料的表面特性,如表面粗糙化、表面清洁和表面亲水性调变等。